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2 Hydrogen (H2) Delivered as Pipeline Gas
この仕様は高度に自動化された工場においてサービスを提供する装置について記述する。このサービスは製造装置における材料プロセスおよび処理をコントロールする能力をホストに提供する。
org in March 2012
the Liquid Chemicals Global Technical Committee contributed its knowledge of the feasibility and cost viability of the technical solutions necessary to support UPW quality values specified in this Guide
1が出版されたため改訂年月が更新された。
D01700 - SEMI D17 - FPDガラス基板搬送用カセットの機械的仕様 StdPbc-0220 2 Hydrogen (H2) Delivered asGlobal Flat Panel Display Equipment CommitteeNorth American Flat Panel Display Committee19991215North American Regional Standards Committee20001SEMI On Line2000219989 FPD SEMI D18 Referenced SEMI Standards SEMI D18 Specification for Cassettes Used for Horizontal Transport and Storage of Flat Panel Display Substrates SEMI E15 Specification for Tool Load Port